集成电路行业废水处理

发布日期:20-08-26 访问量:185

水滴2.jpg 行业背景

集成电路产业是一种半导体产业,包括制造业、设计业、封装业等各产业,是与人们息息相关的产业。集成电路主要生产工艺为抛光硅片的氧化、光刻、扩散/离子注入、化学气相淀积、溅射、化学清洗和外延等工序。具体生产工艺如下图1所示,集成电路产业由于其复杂的生产工艺,决定了其产生的废水具有低生物降解、高硝氮、高含氟等的特点。目前,集成电路产业的废水治理已经成为集成电路企业的较头疼的难题。

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水滴2.jpg 排放标准

根据《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2006), 第一类污染物(金属类),一律在车间或车间处理设施排放口采样;第二类污染物,在排放单位排放口采样,具体标准如下表1所示。

单位: mg/L(pH除外)

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表 1 半导体行业污染物排放标准

水滴2.jpg 处理痛点

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水滴2.jpg 处理难点

1. 废水量大,氟化物高,酸性大;

2. 进水COD生化性差,重金属毒性高;

3. 高氨氮,高总氮,处理工艺复杂。

4. 重金属离子对生物脱氮环节的微生物抑制作用明显。

水滴2.jpg 解决方案

高效绿色脱氮设备NSAD-HEB系列 ,针对集成电路行业废水总氮超标的废水而言,相比于传统脱氮技术,可从根本上实现总氮的绿色、经济、高效去除,具体解决方案如下:

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水滴2.jpg 工艺优点

高效绿色脱氮设备NSAD-HEB系列 ,相比于传统脱氮技术,占地面积小,耐冲击负荷强,耐一定浓度的生物毒性,脱氮负荷大于2kgm3/d,运行费用低。

水滴2.jpg 服务模式

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